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■ 2022年 出願公開件数ランキング 第550位 56件
(2021年:第291位 132件)
■ 2022年 特許取得件数ランキング 第238位 135件
(2021年:第322位 84件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7195778 | 成膜装置、クリーニングガスノズル、クリーニング方法 | 2022年12月26日 | |
特許 7195943 | 金属窒化物ナノ粒子分散液の製造方法 | 2022年12月26日 | |
特許 7195949 | 熱陰極電離真空計、熱陰極電離真空計を備える圧力測定システム並びに熱陰極電離真空計を用いた圧力測定方法 | 2022年12月26日 | |
特許 7196372 | 積層構造体及び積層構造体の製造方法 | 2022年12月26日 | |
特許 7194528 | PZT素子、PZT素子製造方法 | 2022年12月22日 | |
特許 7193335 | バイアル瓶の搬送移載装置及び搬送移載方法 | 2022年12月20日 | |
特許 7193369 | スパッタリング装置 | 2022年12月20日 | |
特許 7191558 | 成膜装置および成膜方法、クリーニング方法 | 2022年12月19日 | |
特許 7191647 | ドライエッチング方法およびドライエッチング装置 | 2022年12月19日 | |
特許 7191678 | 基板処理装置、基板処理装置のカセット取り外し方法 | 2022年12月19日 | |
特許 7189310 | 真空処理装置のクリーニング方法 | 2022年12月13日 | |
特許 7189394 | 真空ポンプ、真空ポンプの制御方法、真空ポンプ用電力変換装置、圧縮機用電力変換装置および圧縮機 | 2022年12月13日 | |
特許 7185545 | 仕切弁 | 2022年12月 7日 | |
特許 7179635 | 蒸着源、真空処理装置、及び蒸着方法 | 2022年11月29日 | |
特許 7176967 | 真空アクチュエータ、仕切りバルブ | 2022年11月22日 |
136 件中 1-15 件を表示
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7195778 7195943 7195949 7196372 7194528 7193335 7193369 7191558 7191647 7191678 7189310 7189394 7185545 7179635 7176967
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