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株式会社アルバック

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  2021年 特許取得件数ランキング    第322位 84件 下降2020年:第293位 94件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6982597 スパッタリング装置 2021年12月17日
特許 6982695 蒸着源及び真空処理装置 2021年12月17日
特許 6982701 静電チャック、真空処理装置及び基板処理方法 2021年12月17日
特許 6983030 成膜装置、および、成膜方法 2021年12月17日
特許 6983033 スパッタ装置 2021年12月17日
特許 6983096 真空蒸着装置用の蒸着源 2021年12月17日
特許 6983206 基板搬送装置、および、基板搬送方法 2021年12月17日
特許 6983332 プラズマCVD装置、および、プラズマCVD法 2021年12月17日
特許 6973745 PZT薄膜積層体の製造方法 2021年12月 1日
特許 6969065 イオン注入方法、イオン注入装置 2021年11月24日
特許 6972386 吸着装置及び真空処理装置 2021年11月24日
特許 6972427 成膜方法 2021年11月24日
特許 6968300 スパッタリングターゲット及びスパッタリングターゲットの製造方法 2021年11月17日
特許 6959105 撹拌装置 2021年11月 2日
特許 6959447 スパッタ成膜装置 2021年11月 2日

85 件中 1-15 件を表示

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6982597 6982695 6982701 6983030 6983033 6983096 6983206 6983332 6973745 6969065 6972386 6972427 6968300 6959105 6959447

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