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株式会社アルバック

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  2011年 出願公開件数ランキング    第167位 266件 上昇2010年:第171位 294件)

  2011年 特許取得件数ランキング    第133位 277件 上昇2010年:第152位 210件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 4681215 低誘電率層間絶縁膜のドライエッチング方法 2011年 5月11日
特許 4680619 プラズマ成膜装置 2011年 5月11日
特許 4677123 高密度へリコンプラズマを利用した緻密な硬質薄膜の形成装置及び形成方法 2011年 4月27日
特許 4677088 グラファイトナノファイバー薄膜形成用熱CVD装置 2011年 4月27日
特許 4676273 印刷装置 2011年 4月27日
特許 4676487 ターゲット製造方法 2011年 4月27日
特許 4677092 フラットパネルディスプレイの電極形成方法 2011年 4月27日
特許 4677087 グラファイトナノファイバー薄膜形成用熱CVD装置 2011年 4月27日
特許 4678996 誘電体膜の成膜方法及び成膜装置 2011年 4月27日
特許 4676098 吸着装置 2011年 4月27日
特許 4676097 吸着装置 2011年 4月27日
特許 4674777 炭化ケイ素膜の形成方法 2011年 4月20日 共同出願
特許 4674898 荷電粒子加速器のメンテナンス方法 2011年 4月20日 共同出願
特許 4671579 Ag合金反射膜およびその製造方法 2011年 4月20日
特許 4674061 薄膜形成方法 2011年 4月20日

277 件中 196-210 件を表示

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4681215 4680619 4677123 4677088 4676273 4676487 4677092 4677087 4678996 4676098 4676097 4674777 4674898 4671579 4674061

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