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株式会社アルバック

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  2011年 特許取得件数ランキング    第133位 277件 上昇2010年:第152位 210件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 4664061 成膜装置および成膜方法 2011年 4月 6日
特許 4659023 イオン注入装置の制御方法、その制御システム、その制御プログラムおよびイオン注入装置 2011年 3月30日
特許 4660431 生体物質検出・回収方法およびその装置及び生体物質解析方法 2011年 3月30日
特許 4659529 表面形状測定用触針式段差計及びその自動較正方法 2011年 3月30日
特許 4662610 立体収束質量分離器 2011年 3月30日
特許 4657184 スパッタリング装置 2011年 3月23日
特許 4657183 スパッタリング装置、スパッタリング方法 2011年 3月23日
特許 4656808 真空装置及び加熱処理装置 2011年 3月23日
特許 4654194 銅含有膜形成方法 2011年 3月16日 共同出願
特許 4653406 水崩壊性Al複合材料、水崩壊性Al溶射膜、及び水崩壊性Al粉の製造方法、並びに成膜室用構成部材及び成膜材料の回収方法 2011年 3月16日
特許 4653470 エッチング方法 2011年 3月16日
特許 4651956 層間絶縁膜のドライエッチング方法 2011年 3月16日
特許 4647665 塗布装置、分散液移動方法 2011年 3月 9日
特許 4647122 真空処理方法 2011年 3月 9日
特許 4647476 成膜装置 2011年 3月 9日

277 件中 226-240 件を表示

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4664061 4659023 4660431 4659529 4662610 4657184 4657183 4656808 4654194 4653406 4653470 4651956 4647665 4647122 4647476

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