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株式会社アルバック

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  2011年 特許取得件数ランキング    第133位 277件 上昇2010年:第152位 210件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 4646053 高周波電力用分岐スイッチ及びエッチング装置 2011年 3月 9日
特許 4640876 基板搬送装置 2011年 3月 2日
特許 4644347 熱CVD法によるグラファイトナノファイバー薄膜形成方法 2011年 3月 2日
特許 4644346 熱CVD法によるグラファイトナノファイバー薄膜形成方法 2011年 3月 2日
特許 4644345 熱CVD法によるグラファイトナノファイバー薄膜形成方法 2011年 3月 2日
特許 4644343 真空処理室用表面構造 2011年 3月 2日
特許 4642212 真空処理装置及び真空処理方法 2011年 3月 2日
特許 4641596 立体基板へのスパッタリング成膜装置及び成膜方法 2011年 3月 2日
特許 4643916 層間絶縁膜のドライエッチング方法及びその装置 2011年 3月 2日
特許 4637556 成膜装置とこの成膜装置を含む複合型配線膜形成装置および薄膜製造方法 2011年 2月23日
特許 4639168 生体物質相互作用検出・回収方法およびその装置 2011年 2月23日
特許 4639027 スパッタイオンポンプ 2011年 2月23日
特許 4634258 印刷ヘッド、印刷装置及び印刷ヘッドの製造方法 2011年 2月16日
特許 4629394 蒸着源と蒸着装置 2011年 2月 9日
特許 4629800 プラズマディスプレイ装置の製造装置 2011年 2月 9日

277 件中 241-255 件を表示

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4646053 4640876 4644347 4644346 4644345 4644343 4642212 4641596 4643916 4637556 4639168 4639027 4634258 4629394 4629800

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