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■ 2013年 出願公開件数ランキング 第112位 434件 (2012年:第135位 339件)
■ 2013年 特許取得件数ランキング 第104位 384件 (2012年:第106位 389件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
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特許 5145228 | 透明導電膜の成膜方法 | 2013年 2月13日 | |
特許 5145225 | 半導体装置の製造方法 | 2013年 2月13日 | |
特許 5145209 | 真空処理装置 | 2013年 2月13日 | |
特許 5145020 | 成膜装置及び成膜方法 | 2013年 2月13日 | |
特許 5144673 | 成膜装置及び成膜方法 | 2013年 2月13日 | |
特許 5144231 | 成膜装置 | 2013年 2月13日 | |
特許 5144216 | 成膜装置及び成膜方法 | 2013年 2月13日 | |
特許 5142849 | 成膜装置および成膜方法 | 2013年 2月13日 | |
特許 5142414 | 真空処理装置 | 2013年 2月13日 | |
特許 5142114 | イオン注入方法およびイオン注入装置 | 2013年 2月13日 | |
特許 5145148 | ヘリウム検出ユニット | 2013年 2月13日 | |
特許 5144109 | 膜厚測定方法、及び磁気デバイスの製造方法 | 2013年 2月13日 | |
特許 5140724 | 水晶振動子及びこれを使用した測定方法 | 2013年 2月13日 | |
特許 5144747 | 太陽電池の製造方法,太陽電池の製造装置,及び太陽電池 | 2013年 2月13日 | |
特許 5144352 | エッチング装置 | 2013年 2月13日 |
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5145228 5145225 5145209 5145020 5144673 5144231 5144216 5142849 5142414 5142114 5145148 5144109 5140724 5144747 5144352
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