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株式会社アルバック

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  2018年 出願公開件数ランキング    第362位 104件 下降2017年:第327位 135件)

  2018年 特許取得件数ランキング    第328位 87件 上昇2017年:第348位 80件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2018-31066 マスク材走行ユニット 2018年 3月 1日
再表 2016-186046 基板除電機構及びこれを用いた真空処理装置 2018年 2月22日
再表 2016-190429 光学薄膜製造方法、光学フィルム製造方法 2018年 2月22日
特開 2018-29137 搬送装置 2018年 2月22日
特開 2018-26381 半導体デバイス及びエッチングストップ層の形成方法 2018年 2月15日
特開 2018-26494 成膜方法及び成膜装置 2018年 2月15日
特開 2018-21235 スパッタリング装置用成膜ユニット及び成膜装置 2018年 2月 8日
特開 2018-19015 基板搬送ロボット、真空処理装置 2018年 2月 1日
再表 2016-199759 基板保持装置、成膜装置及び基板保持方法 2018年 1月25日
再表 2016-204022 成膜方法及び成膜装置 2018年 1月25日
特開 2018-12876 酸化亜鉛化合物膜の成膜方法、および、酸化亜鉛化合物膜 2018年 1月25日
再表 2016-167224 吸着装置、真空処理装置 2018年 1月18日
特開 2018-10916 HBC型結晶系太陽電池の製造方法、及びHBC型結晶系太陽電池 2018年 1月18日
再表 2016-159342 吸着装置、吸着装置の製造方法、及び真空処理装置 2018年 1月11日
再表 2016-167233 基板保持機構、成膜装置、および基板の保持方法 2018年 1月11日

107 件中 91-105 件を表示

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2018-31066 2016-186046 2016-190429 2018-29137 2018-26381 2018-26494 2018-21235 2018-19015 2016-199759 2016-204022 2018-12876 2016-167224 2018-10916 2016-159342 2016-167233

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