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株式会社アルバック

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  2012年 出願公開件数ランキング    第135位 339件 上昇2011年:第167位 266件)

  2012年 特許取得件数ランキング    第106位 389件 上昇2011年:第133位 277件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
再表 2011-7834 成膜装置及び成膜方法 2012年12月27日
再表 2011-7832 成膜装置 2012年12月27日
再表 2011-7830 成膜装置 2012年12月27日
再表 2011-7652 減圧システム及び真空処理装置 2012年12月27日
特開 2012-256894 支持部材およびキャリアと支持方法 2012年12月27日
再表 2011-7831 成膜装置 2012年12月27日
特開 2012-256707 マスク形成方法 2012年12月27日
再表 2011-7580 基板処理方法 2012年12月20日
特開 2012-251623 スライド弁 2012年12月20日
特開 2012-253209 ドライエッチング装置及びドライエッチング方法 2012年12月20日
特開 2012-251193 成膜方法及び成膜装置 2012年12月20日
特開 2012-251624 スライド弁 2012年12月20日
特開 2012-251119 ポーラスシリカ前駆体組成物及びその作製方法、ポーラスシリカ膜及びその作製方法、並びに半導体素子 2012年12月20日
特開 2012-251213 成膜装置 2012年12月20日
特開 2012-246506 移動装置 2012年12月13日

339 件中 1-15 件を表示

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2011-7834 2011-7832 2011-7830 2011-7652 2012-256894 2011-7831 2012-256707 2011-7580 2012-251623 2012-253209 2012-251193 2012-251624 2012-251119 2012-251213 2012-246506

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