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株式会社アルバック

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  2023年 出願公開件数ランキング    第641位 46件 下降2022年:第550位 56件)

  2023年 特許取得件数ランキング    第259位 132件 下降2022年:第238位 135件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2023-183209 スパッタ装置および成膜方法 2023年12月27日
特開 2023-183210 成膜方法 2023年12月27日
特開 2023-173544 真空蒸着装置用の蒸着源 2023年12月 7日
特開 2023-172705 基板処理装置、および、基板処理方法 2023年12月 6日
特開 2023-170446 成膜方法 2023年12月 1日
特開 2023-169645 成膜装置 2023年11月30日
特開 2023-168142 真空蒸着装置用の蒸着源 2023年11月24日
特開 2023-159957 静電チャック及びその製造方法 2023年11月 2日
特開 2023-157281 制御装置、成膜装置、成膜方法及びプログラム 2023年10月26日
特開 2023-156155 真空処理装置及び真空処理方法 2023年10月24日
特開 2023-156156 成膜方法及び成膜装置 2023年10月24日
特開 2023-154874 シャワープレート、プラズマ処理装置 2023年10月20日
特開 2023-154254 プラズマ処理装置 2023年10月19日
特開 2023-144565 スパッタリングターゲット機構、成膜装置、及び成膜方法 2023年10月11日
特開 2023-140215 真空蒸着装置用の蒸着源 2023年10月 4日

47 件中 1-15 件を表示

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2023-183209 2023-183210 2023-173544 2023-172705 2023-170446 2023-169645 2023-168142 2023-159957 2023-157281 2023-156155 2023-156156 2023-154874 2023-154254 2023-144565 2023-140215

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