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株式会社アルバック

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株式会社アルバックの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特開 2023-183209	スパッタ装置および成膜方法	2023年12月27日
特開 2023-183210	成膜方法	2023年12月27日
特開 2023-173544	真空蒸着装置用の蒸着源	2023年12月 7日
特開 2023-172705	基板処理装置、および、基板処理方法	2023年12月 6日
特開 2023-170446	成膜方法	2023年12月 1日
特開 2023-169645	成膜装置	2023年11月30日
特開 2023-168142	真空蒸着装置用の蒸着源	2023年11月24日
特開 2023-159957	静電チャック及びその製造方法	2023年11月 2日
特開 2023-157281	制御装置、成膜装置、成膜方法及びプログラム	2023年10月26日
特開 2023-156155	真空処理装置及び真空処理方法	2023年10月24日
特開 2023-156156	成膜方法及び成膜装置	2023年10月24日
特開 2023-154874	シャワープレート、プラズマ処理装置	2023年10月20日
特開 2023-154254	プラズマ処理装置	2023年10月19日
特開 2023-144565	スパッタリングターゲット機構、成膜装置、及び成膜方法	2023年10月11日
特開 2023-140215	真空蒸着装置用の蒸着源	2023年10月 4日

47 件中 1-15 件を表示

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2023-183209 2023-183210 2023-173544 2023-172705 2023-170446 2023-169645 2023-168142 2023-159957 2023-157281 2023-156155 2023-156156 2023-154874 2023-154254 2023-144565 2023-140215

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