株式会社アルバック
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（
2022年：第550位 56件）
■ 2023年 特許取得件数ランキング 第262位 131件
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株式会社アルバックの商標一覧| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特開 2023-183210 | 成膜方法 | 2023年12月27日 | |
| 特開 2023-183209 | スパッタ装置および成膜方法 | 2023年12月27日 | |
| 特開 2023-173544 | 真空蒸着装置用の蒸着源 | 2023年12月 7日 | |
| 特開 2023-172705 | 基板処理装置、および、基板処理方法 | 2023年12月 6日 | |
| 特開 2023-170446 | 成膜方法 | 2023年12月 1日 | |
| 特開 2023-169645 | 成膜装置 | 2023年11月30日 | |
| 特開 2023-168142 | 真空蒸着装置用の蒸着源 | 2023年11月24日 | |
| 特開 2023-159957 | 静電チャック及びその製造方法 | 2023年11月 2日 | |
| 特開 2023-157281 | 制御装置、成膜装置、成膜方法及びプログラム | 2023年10月26日 | |
| 特開 2023-156156 | 成膜方法及び成膜装置 | 2023年10月24日 | |
| 特開 2023-156155 | 真空処理装置及び真空処理方法 | 2023年10月24日 | |
| 特開 2023-154874 | シャワープレート、プラズマ処理装置 | 2023年10月20日 | |
| 特開 2023-154254 | プラズマ処理装置 | 2023年10月19日 | |
| 特開 2023-144565 | スパッタリングターゲット機構、成膜装置、及び成膜方法 | 2023年10月11日 | |
| 特開 2023-140215 | 真空蒸着装置用の蒸着源 | 2023年10月 4日 |
47 件中 1-15 件を表示
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2023-183210 2023-183209 2023-173544 2023-172705 2023-170446 2023-169645 2023-168142 2023-159957 2023-157281 2023-156156 2023-156155 2023-154874 2023-154254 2023-144565 2023-140215
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