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■ 2022年 出願公開件数ランキング 第550位 56件
(2021年:第291位 132件)
■ 2022年 特許取得件数ランキング 第238位 135件
(2021年:第322位 84件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7078407 | 粘着式基板保持装置 | 2022年 5月31日 | |
特許 7078462 | 真空蒸着装置用の蒸着源 | 2022年 5月31日 | |
特許 7078745 | 真空処理装置 | 2022年 5月31日 | |
特許 7078752 | 真空処理装置 | 2022年 5月31日 | |
特許 7077072 | プラズマ処理装置、および、プラズマ処理方法 | 2022年 5月30日 | |
特許 7066475 | 真空処理装置 | 2022年 5月13日 | |
特許 7066510 | 成膜装置、成膜方法、及びスパッタリングターゲット機構 | 2022年 5月13日 | |
特許 7066841 | スパッタリング方法、スパッタリング装置 | 2022年 5月13日 | |
特許 7063596 | 透明電極シートの製造方法 | 2022年 5月 9日 | |
特許 7063664 | プラズマ処理装置 | 2022年 5月 9日 | |
特許 7063709 | 透明導電膜付き基板の製造装置、透明導電膜付き基板の製造方法 | 2022年 5月 9日 | |
特許 7063742 | トランスデューサ型真空計 | 2022年 5月 9日 | |
特許 7062535 | スパッタ成膜方法 | 2022年 5月 6日 | |
特許 7061899 | リチウムターゲットの製造方法及び製造装置 | 2022年 5月 2日 | |
特許 7061478 | 窒化ガリウム薄膜の製造方法 | 2022年 4月28日 |
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7078407 7078462 7078745 7078752 7077072 7066475 7066510 7066841 7063596 7063664 7063709 7063742 7062535 7061899 7061478
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