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株式会社KOKUSAI ELECTRIC

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6446563 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム 2018年12月26日
特許 6446537 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム 2018年12月26日
特許 6446418 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム 2018年12月26日
特許 6441989 半導体装置の製造方法、基板処理装置、プログラムおよび記録媒体 2018年12月19日
特許 6441494 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム 2018年12月19日
特許 6441244 基板処理装置 2018年12月19日
特許 6438038 半導体装置の製造方法、基板処理装置および記録媒体 2018年12月12日
特許 6436887 半導体装置の製造方法、基板処理装置、ガス供給システムおよびプログラム 2018年12月12日
特許 6436886 半導体装置の製造方法及びプログラム 2018年12月12日
特許 6419762 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム 2018年11月 7日
特許 6419982 半導体装置の製造方法、基板処理装置および記録媒体 2018年11月 7日
特許 6417052 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム 2018年10月31日
特許 6417051 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム 2018年10月31日
特許 6416923 半導体製造装置、半導体装置の製造方法および記録媒体 2018年10月31日
特許 6416031 半導体デバイスの製造方法、基板処理装置およびプログラム 2018年10月31日

22 件中 1-15 件を表示

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6446563 6446537 6446418 6441989 6441494 6441244 6438038 6436887 6436886 6419762 6419982 6417052 6417051 6416923 6416031

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