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■ 2018年 出願公開件数ランキング 第1087位 24件
(2017年: 0件)
■ 2018年 特許取得件数ランキング 第930位 22件
(2017年: 0件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 6446418
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半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | 2018年12月26日 | |
特許 6446537
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基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム | 2018年12月26日 | |
特許 6446563
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半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | 2018年12月26日 | |
特許 6441244
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基板処理装置 | 2018年12月19日 | |
特許 6441494
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半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | 2018年12月19日 | |
特許 6441989
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半導体装置の製造方法、基板処理装置、プログラムおよび記録媒体 | 2018年12月19日 | |
特許 6436886
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半導体装置の製造方法及びプログラム | 2018年12月12日 | |
特許 6436887
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半導体装置の製造方法、基板処理装置、ガス供給システムおよびプログラム | 2018年12月12日 | |
特許 6438038
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半導体装置の製造方法、基板処理装置および記録媒体 | 2018年12月12日 | |
特許 6419762
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半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | 2018年11月 7日 | |
特許 6419982
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半導体装置の製造方法、基板処理装置および記録媒体 | 2018年11月 7日 | |
特許 6415215
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基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム | 2018年10月31日 | |
特許 6415730
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半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | 2018年10月31日 | |
特許 6415808
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半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | 2018年10月31日 | |
特許 6416031
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半導体デバイスの製造方法、基板処理装置およびプログラム | 2018年10月31日 |
22 件中 1-15 件を表示
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6446418 6446537 6446563 6441244 6441494 6441989 6436886 6436887 6438038 6419762 6419982 6415215 6415730 6415808 6416031
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4月4日(金) -
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4月9日(水) -
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4月11日(金) -
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