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株式会社KOKUSAI ELECTRIC

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6625256 基板処理装置、半導体装置の製造方法および記録媒体 2019年12月25日
特許 6625230 基板処理装置、基板冷却ユニットおよび半導体装置の製造方法 2019年12月25日
特許 6625098 基板処理システム、半導体装置の製造方法およびプログラム 2019年12月25日
特許 6621921 基板処理装置、半導体装置の製造方法および記録媒体 2019年12月18日
特許 6616917 基板処理装置、半導体装置の製造方法および記録媒体 2019年12月 4日
特許 6616895 基板処理装置および半導体装置の製造方法並びにプログラム 2019年12月 4日
特許 6616520 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム 2019年12月 4日
特許 6616365 半導体装置の製造方法、基板処理装置、プログラムおよび記録媒体 2019年12月 4日
特許 6616265 加熱部、基板処理装置、及び半導体装置の製造方法 2019年12月 4日
特許 6616258 基板処理装置、蓋部カバーおよび半導体装置の製造方法 2019年12月 4日
特許 6613276 半導体装置の製造方法、プログラム、記録媒体および基板処理装置 2019年11月27日
特許 6613213 半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム 2019年11月27日
特許 6609054 基板処理装置、金属部材および半導体装置の製造方法 2019年11月20日
特許 6608516 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム 2019年11月20日
特許 6606595 気化器、基板処理装置及び半導体装置の製造方法 2019年11月13日

113 件中 1-15 件を表示

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6625256 6625230 6625098 6621921 6616917 6616895 6616520 6616365 6616265 6616258 6613276 6613213 6609054 6608516 6606595

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