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■ 2019年 出願公開件数ランキング 第334位 117件
(2018年:第1087位 24件)
■ 2019年 特許取得件数ランキング 第244位 113件
(2018年:第930位 22件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 6625098 | 基板処理システム、半導体装置の製造方法およびプログラム | 2019年12月25日 | |
特許 6625230 | 基板処理装置、基板冷却ユニットおよび半導体装置の製造方法 | 2019年12月25日 | |
特許 6625256 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法および記録媒体 | 2019年12月25日 | |
特許 6621921 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法および記録媒体 | 2019年12月18日 | |
特許 6616258 | 基板処理装置、蓋部カバーおよび半導体装置の製造方法 | 2019年12月 4日 | |
特許 6616265 | 加熱部、基板処理装置、及び半導体装置の製造方法 | 2019年12月 4日 | |
特許 6616365 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、プログラムおよび記録媒体 | 2019年12月 4日 | |
特許 6616520 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | 2019年12月 4日 | |
特許 6616895 | 基板処理装置および半導体装置の製造方法並びにプログラム | 2019年12月 4日 | |
特許 6616917 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法および記録媒体 | 2019年12月 4日 | |
特許 6613213 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム | 2019年11月27日 | |
特許 6613276 | 半導体装置の製造方法、プログラム、記録媒体および基板処理装置 | 2019年11月27日 | |
特許 6608516 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | 2019年11月20日 | |
特許 6609054 | 基板処理装置、金属部材および半導体装置の製造方法 | 2019年11月20日 | |
特許 6604801 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | 2019年11月13日 |
113 件中 1-15 件を表示
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6625098 6625230 6625256 6621921 6616258 6616265 6616365 6616520 6616895 6616917 6613213 6613276 6608516 6609054 6604801
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