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■ 2020年 出願公開件数ランキング 第332位 110件
(2019年:第334位 117件)
■ 2020年 特許取得件数ランキング 第276位 101件
(2019年:第244位 113件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6802881 | 半導体装置の製造方法、基板装填方法、記録媒体、基板処理装置およびプログラム | 2020年12月23日 | |
特許 6802903 | 基板処理装置及びその表示方法並びに半導体装置の製造方法 | 2020年12月23日 | |
特許 6804027 | 基板処理装置、温度制御方法、半導体装置の製造方法及び温度制御プログラム | 2020年12月23日 | |
特許 6804029 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム | 2020年12月23日 | |
特許 6804069 | 基板処理システム、基板処理装置及び半導体装置の製造方法 | 2020年12月23日 | |
特許 6805347 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | 2020年12月23日 | |
特許 6805358 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム | 2020年12月23日 | |
特許 6795675 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法およびプログラム | 2020年12月 2日 | |
特許 6789257 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム | 2020年11月25日 | |
特許 6789314 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム | 2020年11月25日 | |
特許 6785809 | 処理容器内の部材をクリーニングする方法、半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム | 2020年11月18日 | |
特許 6785914 | 基板処理装置および半導体装置の製造方法 | 2020年11月18日 | |
特許 6787813 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | 2020年11月18日 | |
特許 6787875 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム | 2020年11月18日 | |
特許 6782350 | 基板処理装置、反応管、半導体装置の製造方法及びプログラム | 2020年11月11日 |
104 件中 1-15 件を表示
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6802881 6802903 6804027 6804029 6804069 6805347 6805358 6795675 6789257 6789314 6785809 6785914 6787813 6787875 6782350
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