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■ 2021年 出願公開件数ランキング 第283位 135件
(
2020年:第332位 110件)
■ 2021年 特許取得件数ランキング 第250位 116件
(
2020年:第276位 101件)
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 6986562 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法およびプログラム | 2021年12月22日 | |
| 特許 6979463 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | 2021年12月15日 | |
| 特許 6980106 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、プログラム及び基板処理方法 | 2021年12月15日 | |
| 特許 6980125 | 基板処理装置及び半導体装置の製造方法 | 2021年12月15日 | |
| 特許 6980624 | 半導体装置の製造方法、基板処理方法、基板処理装置およびプログラム | 2021年12月15日 | |
| 特許 6980719 | 基板処理装置及び半導体装置の製造方法 | 2021年12月15日 | |
| 特許 6976279 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム | 2021年12月 8日 | |
| 特許 6973956 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法、プログラムおよび記録媒体 | 2021年12月 1日 | |
| 特許 6971344 | ノズル設置治具およびそれを用いたノズル取付方法 | 2021年11月24日 | |
| 特許 6971383 | 基板処理装置、反応管形状測定方法及び半導体装置の製造方法 | 2021年11月24日 | |
| 特許 6966402 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法および基板処理装置の電極 | 2021年11月17日 | |
| 特許 6960953 | 半導体装置の製造方法、基板処理方法、基板処理装置、およびプログラム | 2021年11月 5日 | |
| 特許 6961834 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法およびプログラム | 2021年11月 5日 | |
| 特許 6957442 | 半導体装置の製造方法、基板処理方法、基板処理装置、およびプログラム | 2021年11月 2日 | |
| 特許 6953480 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム | 2021年10月27日 |
116 件中 1-15 件を表示
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6986562 6979463 6980106 6980125 6980624 6980719 6976279 6973956 6971344 6971383 6966402 6960953 6961834 6957442 6953480
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