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■ 2024年 出願公開件数ランキング 第457位 67件
(
2023年:第405位 81件)
■ 2024年 特許取得件数ランキング 第396位 75件
(
2023年:第265位 129件)
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 7604541 | 基板処理方法、半導体装置の製造方法、プログラム及び基板処理装置 | 2024年12月23日 | |
| 特許 7599546 | 基板処理方法、基板処理装置、プログラムおよび半導体装置の製造方法 | 2024年12月13日 | |
| 特許 7598992 | 処理方法、半導体装置の製造方法、処理装置、およびプログラム | 2024年12月12日 | |
| 特許 7597776 | ガス供給部、処理装置及び半導体装置の製造方法 | 2024年12月10日 | |
| 特許 7597911 | 半導体装置の製造方法、表示方法、基板処理装置およびプログラム | 2024年12月10日 | |
| 特許 7594610 | 基板処理方法、半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム | 2024年12月 4日 | |
| 特許 7584628 | 電極、基板処理装置、半導体装置の製造方法およびプログラム | 2024年11月15日 | |
| 特許 7583505 | ガス供給システム、基板処理装置及び半導体装置の製造方法 | 2024年11月14日 | |
| 特許 7581484 | クリーニング方法、半導体装置の製造方法、基板処理装置及びプログラム | 2024年11月12日 | |
| 特許 7579959 | 基板処理方法、半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム | 2024年11月 8日 | |
| 特許 7577092 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム | 2024年11月 1日 | |
| 特許 7575358 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、プログラム及び基板処理方法 | 2024年10月29日 | |
| 特許 7574241 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム | 2024年10月28日 | |
| 特許 7574402 | 基板保持具、基板処理装置、半導体装置の製造方法およびプログラム | 2024年10月28日 | |
| 特許 7574403 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム | 2024年10月28日 |
75 件中 1-15 件を表示
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7604541 7599546 7598992 7597776 7597911 7594610 7584628 7583505 7581484 7579959 7577092 7575358 7574241 7574402 7574403
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