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■ 2016年 出願公開件数ランキング 第5242位 3件
(2015年:第3076位 6件)
■ 2016年 特許取得件数ランキング 第1730位 11件
(2015年:第1502位 12件)
(ランキング更新日:2025年4月11日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6023170 | 動的ビーム形成を用いた改善された均一性制御のための方法および装置 | 2016年11月 9日 | |
特許 5992413 | 汎用ビームグリッチ検出システム | 2016年 9月14日 | |
特許 5946464 | 炭素注入のための水素補助ガス | 2016年 7月 6日 | |
特許 5934178 | イオン注入装置のための蒸気圧縮冷却チャック | 2016年 6月15日 | |
特許 5934237 | ゲルマニウムおよびホウ素イオン注入のための複合ガスの利用(implementation) | 2016年 6月15日 | |
特許 5904998 | ビームがスキャンされるイオン注入装置における処理量の増大 | 2016年 4月20日 | |
特許 5899205 | 高効率な磁気走査システム | 2016年 4月 6日 | |
特許 5899209 | ワークピース上の結露を防ぐためのアクティブ露点検出およびロードロック通気 | 2016年 4月 6日 | |
特許 5881419 | 静電クランプおよびワークピースをクランプするための方法 | 2016年 3月 9日 | |
特許 5881686 | 高温において機械的な固定する能力を備えている、加熱される静電チャック | 2016年 3月 9日 | |
特許 5848338 | 低温イオン注入装置の捩れ軸を加熱するための効率的なアルゴリズム | 2016年 1月27日 |
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6023170 5992413 5946464 5934178 5934237 5904998 5899205 5899209 5881419 5881686 5848338
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