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■ 2021年 出願公開件数ランキング 第2561位 8件 (2020年:第2114位 10件)
■ 2021年 特許取得件数ランキング 第2016位 8件 (2020年:第1368位 13件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6982614 | イオン源内における炭素の堆積を最小限にするために、一次ドーパント又はパージガスへの補助ガスとして過酸化水素を使用するインサイチュクリーニング | 2021年12月17日 | |
特許 6959914 | イオン注入システム用の、リップを有するイオン源ライナー | 2021年11月 5日 | |
特許 6959935 | 改善されたイオン源のリペラシールド | 2021年11月 5日 | |
特許 6931686 | イオン注入システムにおける抽出電極アセンブリの電圧変調 | 2021年 9月 8日 | |
特許 6933708 | 多径ウエハの真空内ウエハハンドリング | 2021年 9月 8日 | |
特許 6911060 | アルミニウム原子イオンを生成するための固体ヨウ化アルミニウム(ALI3)を用いた注入およびヨウ化アルミニウムとそれに関連付けられた副産物のインサイチュクリーニング | 2021年 7月28日 | |
特許 6860576 | マルチピース電極開口 | 2021年 4月14日 | |
特許 6845806 | イオン源用の統合型引き出し電極マニピュレーター | 2021年 3月24日 |
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6982614 6959914 6959935 6931686 6933708 6911060 6860576 6845806
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11月22日(金) -
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11月22日(金) - 東京 港区
11月22日(金) -
11月22日(金) - 大阪 大阪市
11月22日(金) -
11月22日(金) -
11月25日(月) -
11月25日(月) - 岐阜 各務原市
11月26日(火) -
11月26日(火) - 東京 港区
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月27日(水) - 東京 港区
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月28日(木) - 東京 港区
11月28日(木) - 島根 松江市
11月28日(木) - 京都 京都市
11月28日(木) -
11月28日(木) - 大阪 大阪市
11月28日(木) -
11月29日(金) - 東京 港区
11月29日(金) - 茨城 ひたちなか市
11月30日(土) -
12月1日(日) -
12月1日(日) -
11月25日(月) -