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アクセリス テクノロジーズ， インコーポレイテッド
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■ 2015年 出願公開件数ランキング 第3076位 6件
（
2014年： 0件）
■ 2015年 特許取得件数ランキング 第1502位 12件
（2014年： 0件）
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アクセリス テクノロジーズ， インコーポレイテッドの商標一覧| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
特許 5827235
|
残留物を清浄する方法および装置 | 2015年12月 2日 | |
| 特許 5805930
|
異常回復のためのイオンビーム制御方法 | 2015年11月10日 | |
| 特許 5806300
|
加熱環状チャック | 2015年11月10日 | |
| 特許 5795053
|
微粒子低減のための真空内ビーム形成口の清浄化 | 2015年10月14日 | |
| 特許 5766726
|
フォトレジストのガス放出における注入の均一性を向上させる方法 | 2015年 8月19日 | |
| 特許 5739333
|
イオン注入に用いる調整可能な偏向光学 | 2015年 6月24日 | |
| 特許 5709759
|
形状順応性を有するコーティング層を有する静電チャック | 2015年 4月30日 | |
| 特許 5689410
|
高電流イオン注入のための低汚染、低エネルギーのビームラインアーキテクチャ | 2015年 3月25日 | |
| 特許 5689415
|
イオン注入システムにおけるディセル後の磁気エネルギーフィルター | 2015年 3月25日 | |
| 特許 5689427
|
結露のない熱チャック | 2015年 3月25日 | |
| 特許 5676481
|
リボンビームに対するイオンビームの角度較正および放射測定システム | 2015年 2月25日 | |
| 特許 5671109
|
新規の改良されたイオンソース | 2015年 2月18日 |
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5827235 5805930 5806300 5795053 5766726 5739333 5709759 5689410 5689415 5689427 5676481 5671109
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