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アクセリス テクノロジーズ, インコーポレイテッド

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  2023年 出願公開件数ランキング    第2865位 7件 下降2022年:第1474位 16件)

  2023年 特許取得件数ランキング    第1732位 11件 上昇2022年:第2054位 9件)

(ランキング更新日:2025年3月24日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7401546 動的閾値を用いたアーク検出のシステムおよび方法 2023年12月19日
特許 7383486 イオン原料物質としてヨウ化アルミニウムを使用する場合の水素共ガス 2023年11月20日
特許 7372908 ビームパワー入力に対する制御を伴うウェハー温度制御 2023年11月 1日
特許 7366997 効率を向上させた走査磁石設計 2023年10月23日
特許 7350779 イオン源ハウジングのための水素ブリードガス 2023年 9月26日
特許 7344353 炭素注入用のホスフィン複合ガス 2023年 9月13日
特許 7324758 インサイチュでのウェハ温度の測定および制御 2023年 8月10日
特許 7320506 静電チャックにおける静電荷の蓄積のリアルタイム制御によって一貫した静電クランピングを提供する方法 2023年 8月 3日
特許 7288907 イオン注入装置用の水素発生装置 2023年 6月 8日
特許 7199423 イオンビーム加速のためのRF共振器 2023年 1月 5日
特許 7199432 半導体製造装置のための、浅角、多波長、マルチレシーバ、調整可能な感度のアライナセンサ 2023年 1月 5日

11 件中 1-11 件を表示

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7401546 7383486 7372908 7366997 7350779 7344353 7324758 7320506 7288907 7199423 7199432

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