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■ 2023年 出願公開件数ランキング 第2865位 7件 (2022年:第1474位 16件)
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(ランキング更新日:2024年9月20日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7401546 | 動的閾値を用いたアーク検出のシステムおよび方法 | 2023年12月19日 | |
特許 7383486 | イオン原料物質としてヨウ化アルミニウムを使用する場合の水素共ガス | 2023年11月20日 | |
特許 7372908 | ビームパワー入力に対する制御を伴うウェハー温度制御 | 2023年11月 1日 | |
特許 7366997 | 効率を向上させた走査磁石設計 | 2023年10月23日 | |
特許 7350779 | イオン源ハウジングのための水素ブリードガス | 2023年 9月26日 | |
特許 7344353 | 炭素注入用のホスフィン複合ガス | 2023年 9月13日 | |
特許 7324758 | インサイチュでのウェハ温度の測定および制御 | 2023年 8月10日 | |
特許 7320506 | 静電チャックにおける静電荷の蓄積のリアルタイム制御によって一貫した静電クランピングを提供する方法 | 2023年 8月 3日 | |
特許 7288907 | イオン注入装置用の水素発生装置 | 2023年 6月 8日 | |
特許 7199423 | イオンビーム加速のためのRF共振器 | 2023年 1月 5日 | |
特許 7199432 | 半導体製造装置のための、浅角、多波長、マルチレシーバ、調整可能な感度のアライナセンサ | 2023年 1月 5日 |
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7401546 7383486 7372908 7366997 7350779 7344353 7324758 7320506 7288907 7199423 7199432
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