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株式会社SCREENホールディングス

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  2019年 特許取得件数ランキング    第98位 282件 上昇2018年:第116位 260件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6485904 基板処理装置 2019年 3月20日
特許 6486050 検査装置および検査方法 2019年 3月20日
特許 6486743 熱処理装置、および熱処理装置の調整方法 2019年 3月20日
特許 6486775 熱処理装置および熱処理方法 2019年 3月20日
特許 6487168 基板処理装置および基板処理方法 2019年 3月20日
特許 6487244 熱処理装置および熱処理方法 2019年 3月20日
特許 6487729 基材処理装置、塗膜形成システム、基材処理方法及び塗膜形成方法 2019年 3月20日
特許 6487747 基板処理装置と処理ガス供給ノズル 2019年 3月20日
特許 6488168 時系列データ処理方法、時系列データ処理プログラム、および、時系列データ処理装置 2019年 3月20日
特許 6481977 基板処理方法および基板処理装置 2019年 3月13日
特許 6481995 蒸気供給装置、蒸気乾燥装置、蒸気供給方法および蒸気乾燥方法 2019年 3月13日
特許 6482919 ネガティブ現像処理方法およびネガティブ現像処理装置 2019年 3月13日
特許 6483348 基板処理装置および基板処理方法 2019年 3月13日
特許 6478692 基板処理装置 2019年 3月 6日
特許 6479501 光学デバイスおよび露光装置 2019年 3月 6日

283 件中 226-240 件を表示

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6485904 6486050 6486743 6486775 6487168 6487244 6487729 6487747 6488168 6481977 6481995 6482919 6483348 6478692 6479501

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