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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6751735 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2020年 9月 9日 | |
特許 6753695 | 乾燥ユニットおよび錠剤印刷装置 | 2020年 9月 9日 | |
特許 6753764 | バルブユニットおよび基板処理装置 | 2020年 9月 9日 | |
特許 6753978 | 粒状物処理装置および粒状物処理方法 | 2020年 9月 9日 | |
特許 6754247 | 周縁部処理装置および周縁部処理方法 | 2020年 9月 9日 | |
特許 6754257 | 基板処理方法 | 2020年 9月 9日 | |
特許 6741407 | 欠陥検査装置 | 2020年 8月19日 | |
特許 6742124 | 基板処理装置 | 2020年 8月19日 | |
特許 6742223 | 搬送装置および印刷装置 | 2020年 8月19日 | |
特許 6742748 | 現像ユニット、基板処理装置、現像方法および基板処理方法 | 2020年 8月19日 | |
特許 6744793 | 基板処理装置、基板処理レシピ判定方法、および基板処理レシピ判定プログラム | 2020年 8月19日 | |
特許 6737436 | 膜処理ユニットおよび基板処理装置 | 2020年 8月12日 | |
特許 6737649 | 塗布装置および塗布方法 | 2020年 8月12日 | |
特許 6737666 | 犠牲膜形成方法、基板処理方法および基板処理装置 | 2020年 8月12日 | |
特許 6737670 | 基板処理方法、基板処理装置 | 2020年 8月12日 |
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6751735 6753695 6753764 6753978 6754247 6754257 6741407 6742124 6742223 6742748 6744793 6737436 6737649 6737666 6737670
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12月1日(日) -
12月1日(日) -
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