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株式会社SCREENホールディングス

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  2020年 出願公開件数ランキング    第107位 385件 上昇2019年:第120位 389件)

  2020年 特許取得件数ランキング    第118位 239件 下降2019年:第98位 282件)

(ランキング更新日:2021年9月16日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6777488 位置計測装置および位置計測方法 2020年10月28日
特許 6770886 基板処理装置及び基板処理方法 2020年10月21日
特許 6770887 基板処理装置および基板処理システム 2020年10月21日
特許 6770915 熱処理装置 2020年10月21日
特許 6771080 基板処理装置および基板処理方法 2020年10月21日
特許 6773495 エッチング装置、基板処理装置、エッチング方法および基板処理方法 2020年10月21日
特許 6773497 基板処理管理装置、基板処理管理方法および基板処理管理プログラム 2020年10月21日
特許 6774368 熱処理装置のメンテナンス方法 2020年10月21日
特許 6767813 光変調素子、空間光変調器および露光装置 2020年10月14日
特許 6768481 ドーパント導入方法および熱処理方法 2020年10月14日
特許 6768561 露光装置、基板処理装置、基板の露光方法および基板処理方法 2020年10月14日
特許 6768755 スリットノズルおよび基板処理装置 2020年10月14日
特許 6770428 除電装置および除電方法 2020年10月14日
特許 6764713 塗布方法 2020年10月 7日
特許 6762184 回収配管洗浄方法および基板処理装置 2020年 9月30日

240 件中 46-60 件を表示

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6777488 6770886 6770887 6770915 6771080 6773495 6773497 6774368 6767813 6768481 6768561 6768755 6770428 6764713 6762184

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