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キヤノントッキ株式会社

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  2019年 出願公開件数ランキング    第581位 56件 上昇2018年:第1295位 19件)

  2019年 特許取得件数ランキング    第886位 23件 上昇2018年:第1089位 18件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6529257 真空蒸着装置 2019年 6月12日
特許 6526880 蒸発源及び蒸着装置 2019年 6月 5日
特許 6497688 移動体支持装置と、これを含む真空蒸着装置及び蒸着方法 2019年 4月10日
特許 6468540 基板搬送機構、基板載置機構、成膜装置及びそれらの方法 2019年 2月13日
特許 6465948 基板処理装置及び成膜装置 2019年 2月 6日
特許 6461235 基板載置装置、成膜装置、基板載置方法、成膜方法、および電子デバイスの製造方法 2019年 1月30日
特許 6454906 真空蒸着装置及びそれを用いたデバイス製造方法 2019年 1月23日
特許 6448067 基板載置方法、基板載置機構、成膜方法、成膜装置及び電子デバイスの製造方法 2019年 1月 9日
特許 6448279 真空蒸着装置 2019年 1月 9日

24 件中 16-24 件を表示

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6529257 6526880 6497688 6468540 6465948 6461235 6454906 6448067 6448279

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