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■ 2022年 出願公開件数ランキング 第412位 81件
(2021年:第526位 63件)
■ 2022年 特許取得件数ランキング 第417位 70件
(2021年:第1401位 13件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2022-121184 | 搬送装置、成膜装置及び制御方法 | 2022年 8月19日 | |
特開 2022-121185 | 計測装置、インライン型蒸着装置および調整方法 | 2022年 8月19日 | |
特開 2022-121186 | 基板の搬送装置、成膜装置、制御方法、成膜方法 | 2022年 8月19日 | |
特開 2022-115267 | アライメント装置、成膜装置および調整方法 | 2022年 8月 9日 | |
特開 2022-114212 | 成膜装置 | 2022年 8月 5日 | |
特開 2022-113863 | 蒸発源及び蒸着装置 | 2022年 8月 4日 | |
特開 2022-107969 | 成膜装置、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 | 2022年 7月25日 | |
特開 2022-107982 | 蒸発源装置、成膜装置、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 | 2022年 7月25日 | |
特開 2022-107709 | 蒸着装置及び蒸発源 | 2022年 7月22日 | |
特開 2022-107427 | 搬送装置及びキャリア | 2022年 7月21日 | |
特開 2022-107430 | 成膜装置、搬送方法、成膜方法及び電子デバイス製造方法 | 2022年 7月21日 | |
特開 2022-93003 | アライメント装置、成膜装置、アライメント方法、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 | 2022年 6月23日 | |
特開 2022-92404 | 成膜装置、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 | 2022年 6月22日 | |
特開 2022-92405 | 成膜装置 | 2022年 6月22日 | |
特開 2022-92406 | 成膜装置、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 | 2022年 6月22日 |
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2022-121184 2022-121185 2022-121186 2022-115267 2022-114212 2022-113863 2022-107969 2022-107982 2022-107709 2022-107427 2022-107430 2022-93003 2022-92404 2022-92405 2022-92406
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6月20日(金) - 東京 千代田区
6月20日(金) -
6月20日(金) - 愛知 名古屋市
6月16日(月) - 東京 大田
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