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ブルックス オートメーション インコーポレイテッド

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  2018年 出願公開件数ランキング    第1619位 14件 下降2017年:第1346位 21件)

  2018年 特許取得件数ランキング    第1497位 12件 下降2017年:第1304位 15件)

(ランキング更新日:2025年5月20日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6420271 半導体処理ツール 2018年11月 7日
特許 6409018 低減容量キャリア、搬送機、積載ポート及び緩衝装置システム 2018年10月17日
特許 6396797 基板搬送装置 2018年 9月26日
特許 6356519 小容積キャリヤ搬送体、積載ポート、バッファシステム 2018年 7月11日
特許 6342461 貯蔵システム 2018年 6月13日
特許 6329546 半導体製造機器のためのアクセス割当てシステム及びその使用及び作動方法 2018年 5月23日
特許 6324178 側部開口部基板キャリアおよびロードポート 2018年 5月16日
特許 6325612 基板処理装置 2018年 5月16日
特許 6310972 機械的スイッチ機構を利用する複数の可動アームを有する基板搬送装置 2018年 4月11日
特許 6306812 加工物の並列加工装置 2018年 4月 4日
特許 6282803 自動位置合わせ基板搬送装置 2018年 2月21日
特許 6282980 搬送装置 2018年 2月21日

12 件中 1-12 件を表示

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6420271 6409018 6396797 6356519 6342461 6329546 6324178 6325612 6310972 6306812 6282803 6282980

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