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■ 2018年 出願公開件数ランキング 第1525位 14件
(
2017年:第1198位 21件)
■ 2018年 特許取得件数ランキング 第1497位 12件
(
2017年:第1304位 15件)
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 6420271 | 半導体処理ツール | 2018年11月 7日 | |
| 特許 6409018 | 低減容量キャリア、搬送機、積載ポート及び緩衝装置システム | 2018年10月17日 | |
| 特許 6396797 | 基板搬送装置 | 2018年 9月26日 | |
| 特許 6356519 | 小容積キャリヤ搬送体、積載ポート、バッファシステム | 2018年 7月11日 | |
| 特許 6342461 | 貯蔵システム | 2018年 6月13日 | |
| 特許 6329546 | 半導体製造機器のためのアクセス割当てシステム及びその使用及び作動方法 | 2018年 5月23日 | |
| 特許 6324178 | 側部開口部基板キャリアおよびロードポート | 2018年 5月16日 | |
| 特許 6325612 | 基板処理装置 | 2018年 5月16日 | |
| 特許 6310972 | 機械的スイッチ機構を利用する複数の可動アームを有する基板搬送装置 | 2018年 4月11日 | |
| 特許 6306812 | 加工物の並列加工装置 | 2018年 4月 4日 | |
| 特許 6282803 | 自動位置合わせ基板搬送装置 | 2018年 2月21日 | |
| 特許 6282980 | 搬送装置 | 2018年 2月21日 |
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6420271 6409018 6396797 6356519 6342461 6329546 6324178 6325612 6310972 6306812 6282803 6282980
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