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ブルックス オートメーション インコーポレイテッド
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■ 2016年 出願公開件数ランキング 第1667位 14件
（
2015年：第1576位 15件）
■ 2016年 特許取得件数ランキング 第1172位 18件
（2015年：第1115位 18件）
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ブルックス オートメーション インコーポレイテッドの商標一覧| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 6040182 | チャンバ壁に一体化されたモータを伴う基板処理装置 | 2016年12月 7日 | |
| 特許 6031451 | クライオポンプ | 2016年11月24日 | |
| 特許 6025274 | 基板用容器貯蔵システムと相互作用する一体システム | 2016年11月16日 | |
| 特許 6027072 | 複数の独立可動アームを伴う基板搬送装置 | 2016年11月16日 | |
| 特許 6027303 | 側部開口部基板キャリアおよびロードポート | 2016年11月16日 | |
| 特許 6021909 | 低温試料グループホルダーにおける寸法変化の補正のための方法と装置 | 2016年11月 9日 | |
| 特許 6017506 | 磁気スピンドル軸受を伴うロボット駆動装置 | 2016年11月 2日 | |
| 特許 6017508 | 基板処理装置 | 2016年11月 2日 | |
| 特許 5990235 | リニア駆動を利用した極低温冷凍機 | 2016年 9月 7日 | |
| 特許 5981848 | マニピュレータの自動ティーチング及び位置補正システム | 2016年 8月31日 | |
| 特許 5978261 | 基板ローディングデバイス | 2016年 8月24日 | |
| 特許 5976612 | 高速基板配置装置 | 2016年 8月23日 | |
| 特許 5959138 | 半導体ウェハ操作装置 | 2016年 8月 2日 | |
| 特許 5956403 | ロードロック高速排気および通気 | 2016年 7月27日 | |
| 特許 5941677 | 基板処理装置 | 2016年 6月29日 |
18 件中 1-15 件を表示
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6040182 6031451 6025274 6027072 6027303 6021909 6017506 6017508 5990235 5981848 5978261 5976612 5959138 5956403 5941677
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