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■ 2022年 出願公開件数ランキング 第1629位 14件
(
2021年:第1675位 14件)
■ 2022年 特許取得件数ランキング 第1358位 15件
(
2021年:第1299位 14件)
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 7189409 | キャップ着脱装置およびその装置の操作方法 | 2022年12月14日 | |
| 特許 7179470 | 機械的スイッチ機構を利用する複数の可動アームを有する基板搬送装置 | 2022年11月29日 | |
| 特許 7161012 | 密封スイッチトリラクタンスモータ | 2022年10月25日 | |
| 特許 7134928 | 基板処理装置、基板キャリア及び基板処理システム | 2022年 9月12日 | |
| 特許 7132306 | 半導体処理ツール | 2022年 9月 6日 | |
| 特許 7124019 | 基板搬送装置 | 2022年 8月23日 | |
| 特許 7080936 | 極低温冷凍器 | 2022年 6月 6日 | |
| 特許 7080226 | 試料管および方法 | 2022年 6月 3日 | |
| 特許 7071053 | 基板搬送装置 | 2022年 5月18日 | |
| 特許 7068390 | 試料保管および取出しシステム | 2022年 5月16日 | |
| 特許 7053689 | ツールへかつツールから及び選別機内でトレイを移送するためのトレイエンジン及び方法 | 2022年 4月12日 | |
| 特許 7013438 | ブラシレス電気機械および可変リラクタンスモータロードマッピング装置 | 2022年 1月31日 | |
| 特許 7003207 | 密閉環境のための位置フィードバック | 2022年 1月20日 | |
| 特許 6997144 | オンザフライ基板センタリングを含む処理装置 | 2022年 1月17日 | |
| 特許 6989633 | 持ち運び可能な低温ワークステーション | 2022年 1月 5日 |
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7189409 7179470 7161012 7134928 7132306 7124019 7080936 7080226 7071053 7068390 7053689 7013438 7003207 6997144 6989633
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