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ブルックス オートメーション インコーポレイテッド

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  2020年 出願公開件数ランキング    第1113位 23件 上昇2019年:第1815位 13件)

  2020年 特許取得件数ランキング    第1115位 17件 下降2019年:第1108位 17件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6800925 基板搬送装置 2020年12月16日
特許 6779892 ウェハアライナ 2020年11月 4日
特許 6766227 双腕ロボット 2020年10月 7日
特許 6764343 試料保管および取出しシステム 2020年 9月30日
特許 6759236 極低温冷凍器 2020年 9月23日
特許 6748257 基板を搬入および搬出する方法ならびに基板搬送装置 2020年 8月26日
特許 6740394 基板搬送部 2020年 8月12日
特許 6708546 密封型ロボット駆動部 2020年 6月10日
特許 6705750 基板搬送装置 2020年 6月 3日
特許 6686062 半導体製造機器のためのアクセス割当てシステム及び作動方法 2020年 4月22日
特許 6679482 ブラシレス電気機械の制御方法および装置 2020年 4月15日
特許 6680689 試料選択装置 2020年 4月15日
特許 6678570 トレイ移送装置、トレイを移送するための選別機及びトレイを移送するためのエンドエフェクタ 2020年 4月 8日
特許 6665095 基板搬送装置 2020年 3月13日
特許 6662559 機械的スイッチ機構を利用する複数の可動アームを有する基板搬送装置 2020年 3月11日

17 件中 1-15 件を表示

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6800925 6779892 6766227 6764343 6759236 6748257 6740394 6708546 6705750 6686062 6679482 6680689 6678570 6665095 6662559

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