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ケーエルエー−テンカー・コーポレーション

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ケーエルエー−テンカー・コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称	公報発行日
特開 2011-249811	ＥｘＢセパレータを用いた反射電子ビーム投射リソグラフィー	2011年12月 8日
特表 2011-529274	ウェーハを検査しかつ／または分類するコンピュータ内装備方法	2011年12月 1日
特表 2011-528864	前方フィードと側方フィードの使用および計測セルの再使用によって改善された度量衡計測	2011年11月24日
特表 2011-525995	非球面の表面をもつ反射屈折対物光学系を使用する外部ビーム伝送システム	2011年 9月29日
特開 2011-176316	多反射モードを有する電子反射板	2011年 9月 8日
特表 2011-524635	ウェーハー上の設計欠陥および工程欠陥の検出、ウェーハー上の欠陥の精査、設計内の１つ以上の特徴を工程監視特徴として使用するための選択、またはそのいくつかの組み合わせのためのシステムおよび方法	2011年 9月 1日
特表 2011-523215	基板調査デバイス	2011年 8月 4日
特表 2011-522418	検出アルゴリズムの１つ以上のパラメータの値を選択するために用いられる情報を生成する方法及びシステム	2011年 7月28日
特表 2011-521454	ウェハー上の欠陥を検出して検査結果を生成するシステム及び方法	2011年 7月21日
特表 2011-521475	ツール及びプロセスの効果を分離する基板マトリクス	2011年 7月21日
特表 2011-521229	検査システムの偏光設定選択のための、コンピュータを利用した方法、キャリアメディアおよびシステム	2011年 7月21日
特表 2011-521235	急な勾配を有するウェハにおける形状および厚さ変動の測定	2011年 7月21日
特表 2011-520126	その場差分光法	2011年 7月14日
特表 2011-517487	小さな反射屈折対物レンズを用いる分割視野検査システム	2011年 6月 9日
特表 2011-510477	マルチチャック走査ステージ	2011年 3月31日

17 件中 1-15 件を表示

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2011-249811 2011-529274 2011-528864 2011-525995 2011-176316 2011-524635 2011-523215 2011-522418 2011-521454 2011-521475 2011-521229 2011-521235 2011-520126 2011-517487 2011-510477

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