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ケーエルエー−テンカー・コーポレーション

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  2014年 出願公開件数ランキング    第2128位 10件 下降2013年:第1902位 13件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第907位 32件 上昇2013年:第2127位 10件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2014-240838 ウエハーを検査するための方法 2014年12月25日
特開 2014-239230 ウェーハー上の設計欠陥および工程欠陥の検出、ウェーハー上の欠陥の精査、設計内の1つ以上の特徴を工程監視特徴として使用するための選択、またはそのいくつかの組み合わせのためのシステムおよび方法 2014年12月18日
特開 2014-222239 リング状照射を備える暗視野検査システム 2014年11月27日
特開 2014-211447 偏光広帯域ウェーハ検査 2014年11月13日
特開 2014-195090 ウエハ用永続的データの作成と、永続的データを検査関連機能に使用するためのシステムと方法 2014年10月 9日
特開 2014-160868 重ね合わせマーク、重ね合わせマークの設計方法および重ね合わせ測定の方法 2014年 9月 4日
特開 2014-140058 ウエハー上で実施される測定中のプロセスに関するダイナミック・サンプリング・スキームを生成または実施するための方法ならびにシステム 2014年 7月31日
特開 2014-123762 プロセス条件測定デバイス 2014年 7月 3日
特開 2014-42048 基板プロセス装置および方法 2014年 3月 6日
特開 2014-3327 検査レシピ作成システムおよびその方法 2014年 1月 9日

10 件中 1-10 件を表示

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2014-240838 2014-239230 2014-222239 2014-211447 2014-195090 2014-160868 2014-140058 2014-123762 2014-42048 2014-3327

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