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■ 2014年 出願公開件数ランキング 第2128位 10件 (2013年:第1902位 13件)
■ 2014年 特許取得件数ランキング 第907位 32件 (2013年:第2127位 10件)
(ランキング更新日:2024年9月20日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特開 2014-240838 | ウエハーを検査するための方法 | 2014年12月25日 | |
特開 2014-239230 | ウェーハー上の設計欠陥および工程欠陥の検出、ウェーハー上の欠陥の精査、設計内の1つ以上の特徴を工程監視特徴として使用するための選択、またはそのいくつかの組み合わせのためのシステムおよび方法 | 2014年12月18日 | |
特開 2014-222239 | リング状照射を備える暗視野検査システム | 2014年11月27日 | |
特開 2014-211447 | 偏光広帯域ウェーハ検査 | 2014年11月13日 | |
特開 2014-195090 | ウエハ用永続的データの作成と、永続的データを検査関連機能に使用するためのシステムと方法 | 2014年10月 9日 | |
特開 2014-160868 | 重ね合わせマーク、重ね合わせマークの設計方法および重ね合わせ測定の方法 | 2014年 9月 4日 | |
特開 2014-140058 | ウエハー上で実施される測定中のプロセスに関するダイナミック・サンプリング・スキームを生成または実施するための方法ならびにシステム | 2014年 7月31日 | |
特開 2014-123762 | プロセス条件測定デバイス | 2014年 7月 3日 | |
特開 2014-42048 | 基板プロセス装置および方法 | 2014年 3月 6日 | |
特開 2014-3327 | 検査レシピ作成システムおよびその方法 | 2014年 1月 9日 |
10 件中 1-10 件を表示
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2014-240838 2014-239230 2014-222239 2014-211447 2014-195090 2014-160868 2014-140058 2014-123762 2014-42048 2014-3327
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