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■ 2012年 出願公開件数ランキング 第1162位 23件
(
2011年:第1434位 17件)
■ 2012年 特許取得件数ランキング 第4646位 3件
(
2011年:第3248位 5件)
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| 公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特表 2012-533756 | リング状照射を備える暗視野検査システム | 2012年12月27日 | |
| 特表 2012-533737 | パターン付き層上における改良された感度のための光学的欠陥増幅 | 2012年12月27日 | |
| 特表 2012-533884 | 設計データおよび欠陥データを使用したスキャナ性能の比較およびマッチング | 2012年12月27日 | |
| 特表 2012-533855 | 荷電粒子エネルギー分析器 | 2012年12月27日 | |
| 特表 2012-532458 | 時間的に変化する欠陥分類性能の監視 | 2012年12月13日 | |
| 特開 2012-247811 | 広範囲ズーム機能を備えた超広帯域紫外顕微鏡映像システム | 2012年12月13日 | |
| 特開 2012-248535 | 絶縁層を介して導電経路を形成するための装置及び方法 | 2012年12月13日 | |
| 特表 2012-530904 | 異なるピッチを有する多重アレイ領域を同時に検査する方法および装置 | 2012年12月 6日 | |
| 特表 2012-531042 | 極紫外線マスクブランクの欠陥検出のための検査システム及び方法 | 2012年12月 6日 | |
| 特表 2012-530902 | パターン化用EUVマスク、マスクブランク、及びウェーハ上の欠陥を検出するEUV高処理能力検査システム | 2012年12月 6日 | |
| 特表 2012-529182 | 高スループット検査システムに適したセンサ用の反射防止膜 | 2012年11月15日 | |
| 特表 2012-527770 | 太陽電池の輸送 | 2012年11月 8日 | |
| 特表 2012-520570 | ウェーハ用検査工程を生成するための方法及びシステム | 2012年 9月 6日 | |
| 特表 2012-516063 | ウエハ上の欠陥を検出するためのシステムおよび方法 | 2012年 7月12日 | |
| 特表 2012-515925 | 高速検査のための局在駆動および信号処理回路を備えたTDIセンサーモジュール | 2012年 7月12日 |
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2012-533756 2012-533737 2012-533884 2012-533855 2012-532458 2012-247811 2012-248535 2012-530904 2012-531042 2012-530902 2012-529182 2012-527770 2012-520570 2012-516063 2012-515925
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