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■ 2017年 出願公開件数ランキング 第2921位 7件
(2016年:第3099位 6件)
■ 2017年 特許取得件数ランキング 第1441位 13件
(2016年:第1440位 14件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2017-207506 | 計測システムおよび計測方法 | 2017年11月24日 | |
特開 2017-201402 | ツール及びプロセスの効果を分離する基板マトリクス | 2017年11月 9日 | |
特開 2017-167152 | 試料を二つの別個のチャンネルで同時に検査するためのシステムおよび方法 | 2017年 9月21日 | |
特開 2017-142260 | 検査システムおよび方法 | 2017年 8月17日 | |
特開 2017-62492 | 重ね合わせマーク、重ね合わせマークの設計方法および重ね合わせ測定の方法 | 2017年 3月30日 | |
特開 2017-40941 | 重ね合わせマーク、重ね合わせマークの設計方法および重ね合わせ測定の方法 | 2017年 2月23日 | |
特開 2017-32998 | ウェーハー上の設計欠陥および工程欠陥の検出、ウェーハー上の欠陥の精査、設計内の1つ以上の特徴を工程監視特徴として使用するための選択、またはそのいくつかの組み合わせのための方法 | 2017年 2月 9日 |
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2017-207506 2017-201402 2017-167152 2017-142260 2017-62492 2017-40941 2017-32998
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