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■ 2016年 出願公開件数ランキング 第3099位 6件
(2015年:第1323位 19件)
■ 2016年 特許取得件数ランキング 第1440位 14件
(2015年:第1164位 17件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2016-166893
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ウエハ上の欠陥を検出するためのシステムおよび方法 | 2016年 9月15日 | |
特開 2016-145989
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極紫外線マスクブランクの欠陥検出のための検査システム及び方法 | 2016年 8月12日 | |
特開 2016-66093
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計測ターゲットを設計するための方法、装置および媒体 | 2016年 4月28日 | |
特開 2016-26331
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重ね合わせマーク、重ね合わせマークの設計方法および重ね合わせ測定の方法 | 2016年 2月12日 | |
特開 2016-26332
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重ね合わせマーク、重ね合わせマークの設計方法および重ね合わせ測定の方法 | 2016年 2月12日 | |
特開 2016-14674
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角度分解逆対称光波散乱計測 | 2016年 1月28日 |
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2016-166893 2016-145989 2016-66093 2016-26331 2016-26332 2016-14674
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