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ケーエルエー−テンカー・コーポレーション

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  2013年 出願公開件数ランキング    第1902位 13件 下降2012年:第1162位 23件)

  2013年 特許取得件数ランキング    第2127位 10件 上昇2012年:第4646位 3件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2013-242595 反射対物鏡、ミラーを有する広帯域対物光学系、及び屈折レンズを有する光学撮像システム、及び2つ以上の結像経路を有する広帯域光学撮像システム 2013年12月 5日
特開 2013-153167 ウエハー上で実施される測定中のプロセスに関するダイナミック・サンプリング・スキームを生成または実施するための方法ならびにシステム 2013年 8月 8日
特表 2013-527972 基板トポグラフィならびにそのリソグラフィ・デフォーカスおよびオーバーレイとの関係についてのサイトに基づく定量化 2013年 7月 4日
特開 2013-123070 シールドを備えるプロセス条件測定素子 2013年 6月20日
特表 2013-511809 調整可能なビーム制限開口部によって可能にされた高感度及び高処理能力の電子ビーム検査柱 2013年 4月 4日
特表 2013-511152 フォトレジストシミュレーション 2013年 3月28日
特表 2013-506297 非接触インタフェースシステム 2013年 2月21日
特表 2013-504206 スピンウェーハ検査システムのための、動的に合焦・指向・形成される傾斜レーザー照射を生成および計測するための方法および装置 2013年 2月 4日
特表 2013-504063 計測システムおよび計測方法 2013年 2月 4日
特表 2013-503493 クリティカルディメンション均一性を決定するための一意なマークおよびその方法、ならびにウェハオーバーレイ機能と組み合わされたレチクルの位置合わせ 2013年 1月31日
特表 2013-502586 画像収集 2013年 1月24日
特開 2013-12184 標本データ用のロバストなピークファインダー 2013年 1月17日
特表 2013-500586 角度分解逆対称光波散乱計測 2013年 1月 7日

13 件中 1-13 件を表示

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2013-242595 2013-153167 2013-527972 2013-123070 2013-511809 2013-511152 2013-506297 2013-504206 2013-504063 2013-503493 2013-502586 2013-12184 2013-500586

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