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■ 2013年 出願公開件数ランキング 第1902位 13件
(2012年:第1162位 23件)
■ 2013年 特許取得件数ランキング 第2127位 10件
(2012年:第4646位 3件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2013-242595 | 反射対物鏡、ミラーを有する広帯域対物光学系、及び屈折レンズを有する光学撮像システム、及び2つ以上の結像経路を有する広帯域光学撮像システム | 2013年12月 5日 | |
特開 2013-153167 | ウエハー上で実施される測定中のプロセスに関するダイナミック・サンプリング・スキームを生成または実施するための方法ならびにシステム | 2013年 8月 8日 | |
特表 2013-527972 | 基板トポグラフィならびにそのリソグラフィ・デフォーカスおよびオーバーレイとの関係についてのサイトに基づく定量化 | 2013年 7月 4日 | |
特開 2013-123070 | シールドを備えるプロセス条件測定素子 | 2013年 6月20日 | |
特表 2013-511809 | 調整可能なビーム制限開口部によって可能にされた高感度及び高処理能力の電子ビーム検査柱 | 2013年 4月 4日 | |
特表 2013-511152 | フォトレジストシミュレーション | 2013年 3月28日 | |
特表 2013-506297 | 非接触インタフェースシステム | 2013年 2月21日 | |
特表 2013-504206 | スピンウェーハ検査システムのための、動的に合焦・指向・形成される傾斜レーザー照射を生成および計測するための方法および装置 | 2013年 2月 4日 | |
特表 2013-504063 | 計測システムおよび計測方法 | 2013年 2月 4日 | |
特表 2013-503493 | クリティカルディメンション均一性を決定するための一意なマークおよびその方法、ならびにウェハオーバーレイ機能と組み合わされたレチクルの位置合わせ | 2013年 1月31日 | |
特表 2013-502586 | 画像収集 | 2013年 1月24日 | |
特開 2013-12184 | 標本データ用のロバストなピークファインダー | 2013年 1月17日 | |
特表 2013-500586 | 角度分解逆対称光波散乱計測 | 2013年 1月 7日 |
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2013-242595 2013-153167 2013-527972 2013-123070 2013-511809 2013-511152 2013-506297 2013-504206 2013-504063 2013-503493 2013-502586 2013-12184 2013-500586
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