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株式会社荏原製作所

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  2024年 出願公開件数ランキング    第173位 202件 上昇2023年:第197位 193件)

  2024年 特許取得件数ランキング    第185位 185件 下降2023年:第172位 201件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7466434 基板処理装置および基板処理方法 2024年 4月12日
特許 7465498 ワークピースの化学機械研磨システム、演算システム、および化学機械研磨のシミュレーションモデルを作成する方法 2024年 4月11日
特許 7464481 減肉量を予測するための方法、プログラム、及び装置 2024年 4月 9日
特許 7462125 めっき装置 2024年 4月 4日
特許 7461535 研磨パッド位置決め治具 2024年 4月 3日
特許 7460504 めっき装置 2024年 4月 2日
特許 7458284 ポンプ用電動機およびポンプ装置 2024年 3月29日
特許 7458564 基板処理装置 2024年 3月29日
特許 7455608 洗浄方法及び洗浄装置 2024年 3月26日
特許 7454467 基板処理システム、基板処理システムの制御装置及び基板処理システムの運転方法 2024年 3月22日
特許 7454582 ポンプ装置 2024年 3月22日
特許 7453784 プッシャ、基板搬送装置、および基板処理装置 2024年 3月21日
特許 7451324 基板処理装置および基板処理方法 2024年 3月18日
特許 7450374 ポンプ装置、インバータ及び制御方法 2024年 3月15日
特許 7450385 洗浄装置、研磨装置 2024年 3月15日

187 件中 136-150 件を表示

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7466434 7465498 7464481 7462125 7461535 7460504 7458284 7458564 7455608 7454467 7454582 7453784 7451324 7450374 7450385

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