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株式会社荏原製作所

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  2022年 出願公開件数ランキング    第160位 226件 下降2021年:第150位 281件)

  2022年 特許取得件数ランキング    第116位 299件 下降2021年:第114位 242件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7194545 制御盤および給水装置 2022年12月22日
特許 7194000 すべり軸受装置及びポンプ 2022年12月21日
特許 7194305 基板ホルダ、めっき装置、及びめっき方法 2022年12月21日
特許 7193381 めっき装置 2022年12月20日
特許 7193418 めっき装置 2022年12月20日
特許 7192132 基板ホルダ、めっき装置、及びめっき装置の製造方法 2022年12月19日
特許 7189827 基板処理装置および基板洗浄方法 2022年12月14日
特許 7189911 基板洗浄装置、基板処理装置、基板洗浄方法およびノズル 2022年12月14日
特許 7187187 ポンプ選定図作成装置、およびポンプ選定装置 2022年12月12日
特許 7186671 基板処理装置の揺動部品用のカバー、基板処理装置の揺動部品、および、基板処理装置 2022年12月 9日
特許 7184673 多段カスケードポンプ装置、及び多段カスケードポンプ装置の羽根車隙間調整方法 2022年12月 6日
特許 7182911 めっき装置、及びめっき方法 2022年12月 5日
特許 7183111 めっき方法、めっき用の不溶性アノード、及びめっき装置 2022年12月 5日
特許 7182653 研磨装置、及び研磨方法 2022年12月 2日
特許 7181818 光触媒を用いた基板処理装置および基板処理方法 2022年12月 1日

300 件中 1-15 件を表示

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7194545 7194000 7194305 7193381 7193418 7192132 7189827 7189911 7187187 7186671 7184673 7182911 7183111 7182653 7181818

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