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株式会社荏原製作所

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  2018年 出願公開件数ランキング    第114位 380件 上昇2017年:第123位 417件)

  2018年 特許取得件数ランキング    第170位 177件 上昇2017年:第183位 176件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6444785 研磨装置およびその制御方法ならびにドレッシング条件出力方法 2018年12月26日
特許 6445241 渦電流センサ 2018年12月26日
特許 6445292 真空ポンプ 2018年12月26日
特許 6445298 研磨装置、及び、処理方法 2018年12月26日
特許 6445357 半導体デバイス製造装置の構成部品を交換する装置 2018年12月26日
特許 6445771 膜厚測定値の補正方法、及び、膜厚補正器 2018年12月26日
特許 6445785 電動モータ及びこれを備えたポンプ 2018年12月26日
特許 6445924 研磨装置 2018年12月26日
特許 6441660 除害機能付真空ポンプ 2018年12月19日
特許 6437529 エネルギー回収システム 2018年12月12日
特許 6438209 検査装置において撮像装置用のタイミング信号を生成するための制御装置、撮像装置にタイミング信号を送出する方法 2018年12月12日
特許 6435036 回転保持装置及び基板洗浄装置 2018年12月 5日
特許 6430152 液体ポンプおよび液体ポンプシステム 2018年11月28日
特許 6430177 バフ処理モジュール、及び、処理装置 2018年11月28日
特許 6430702 レーザ測長器の反射鏡の支持構造 2018年11月28日

178 件中 1-15 件を表示

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6444785 6445241 6445292 6445298 6445357 6445771 6445785 6445924 6441660 6437529 6438209 6435036 6430152 6430177 6430702

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