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株式会社荏原製作所

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  2014年 出願公開件数ランキング    第223位 204件 上昇2013年:第358位 118件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第333位 116件 下降2013年:第276位 144件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5647327 荷電粒子線による検査装置及びその検査装置を用いたデバイス製造方法 2014年12月24日
特許 5646031 研磨方法 2014年12月24日
特許 5645752 基板洗浄方法及びロール洗浄部材 2014年12月24日
特許 5647557 異種金属のライニング方法 2014年12月24日
特許 5642517 めっき装置及びめっき方法 2014年12月17日
特許 5643385 増圧給水システム 2014年12月17日
特許 5643239 基板ホルダ及びめっき装置 2014年12月17日
特許 5635422 基板乾燥方法、制御プログラム及び基板乾燥装置 2014年12月 3日
特許 5635482 弾性膜 2014年12月 3日
特許 5632132 基板処理方法 2014年11月26日
特許 5632866 海水淡水化システムおよびエネルギー回収装置 2014年11月26日
特許 5628067 研磨パッドの温度調整機構を備えた研磨装置 2014年11月19日
特許 5628384 渦防止装置およびポンプ装置 2014年11月19日
特許 5620680 スケジューラ、基板処理装置、及び基板処理装置の運転方法 2014年11月 5日
特許 5620208 渦防止装置を備えた両吸込み縦型ポンプ 2014年11月 5日

116 件中 1-15 件を表示

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5647327 5646031 5645752 5647557 5642517 5643385 5643239 5635422 5635482 5632132 5632866 5628067 5628384 5620680 5620208

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