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株式会社荏原製作所

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  2016年 出願公開件数ランキング    第233位 176件 下降2015年:第206位 233件)

  2016年 特許取得件数ランキング    第254位 129件 上昇2015年:第329位 83件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6053528 基板把持装置 2016年12月27日
特許 6054805 基板洗浄装置 2016年12月27日
特許 6055205 流体抵抗低減皮膜およびこれを用いた流体機械 2016年12月27日
特許 6055648 研磨装置及び研磨方法 2016年12月27日
特許 6046933 研磨方法 2016年12月21日
特許 6049340 研磨フィルムの製造方法、研磨フィルム 2016年12月21日
特許 6049592 空気抜き装置、軸受装置 2016年12月21日
特許 6050081 ドライ真空ポンプ装置 2016年12月21日
特許 6050571 研磨監視方法および研磨装置 2016年12月21日
特許 6051056 渦巻ポンプ 2016年12月21日
特許 6041645 制御装置 2016年12月14日
特許 6041967 研磨パッドのコンディショニング方法及び装置 2016年12月14日
特許 6042129 ウェアリング及びこれを用いた遠心ポンプ装置 2016年12月14日
特許 6042178 真空ポンプユニット、及び真空ステーション 2016年12月14日
特許 6042179 真空ポンプユニット、及び真空ステーション 2016年12月14日

129 件中 1-15 件を表示

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6053528 6054805 6055205 6055648 6046933 6049340 6049592 6050081 6050571 6051056 6041645 6041967 6042129 6042178 6042179

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