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株式会社荏原製作所

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  2020年 特許取得件数ランキング    第151位 191件 上昇2019年:第168位 167件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6805003 羽根車及びポンプ 2020年12月23日
特許 6799395 基板ホルダ、電子デバイス製造装置において基板を搬送する搬送システム、および電子デバイス製造装置 2020年12月16日
特許 6802002 ボルテックス形ポンプ及びボルテックス形ポンプ内の羽根車の位置を調整する方法 2020年12月16日
特許 6802083 立軸ポンプ 2020年12月16日
特許 6796512 基板ホルダ、めっき装置、めっき方法、及び電気接点 2020年12月 9日
特許 6797526 基板洗浄装置 2020年12月 9日
特許 6797541 熱交換器 2020年12月 9日
特許 6797741 真空式液体収集装置、真空式液体収集装置に用いられる制御装置、及び、真空ポンプを制御する方法 2020年12月 9日
特許 6798914 シール取り付け構造およびポンプ 2020年12月 9日
特許 6793073 アノード電極部材及び電気防食システム 2020年12月 2日
特許 6793454 検査装置及び検査方法 2020年12月 2日
特許 6793484 ポンプ装置 2020年12月 2日
特許 6794275 研磨方法 2020年12月 2日
特許 6794516 検査装置 2020年12月 2日
特許 6795328 悪臭防止型排水設備 2020年12月 2日

195 件中 1-15 件を表示

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6805003 6799395 6802002 6802083 6796512 6797526 6797541 6797741 6798914 6793073 6793454 6793484 6794275 6794516 6795328

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