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株式会社荏原製作所

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  2017年 出願公開件数ランキング    第123位 417件 上昇2016年:第233位 176件)

  2017年 特許取得件数ランキング    第183位 176件 上昇2016年:第254位 129件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6254307 めっき装置に使用される基板ホルダの漏れ検査方法 2017年12月27日
特許 6254383 ドレッシング装置及びそれを備えた化学的機械的研磨装置、それに用いるドレッサーディスク 2017年12月27日
特許 6255047 異物付着防止機能を備えた電子線検査装置及び方法 2017年12月27日
特許 6255303 研磨テーブル交換装置および研磨テーブルの取り出し方法 2017年12月27日
特許 6250406 基板処理装置の異常検出装置、及び基板処理装置 2017年12月20日
特許 6250459 ドレッシング装置、及び半導体製造装置 2017年12月20日
特許 6250924 基板洗浄装置および研磨装置 2017年12月20日
特許 6251043 エッチング液、エッチング方法、およびはんだバンプの製造方法 2017年12月20日
特許 6251124 基板ホルダ用の基板着脱部及びこれを備えた湿式基板処理装置 2017年12月20日
特許 6247732 消音体及びこれを用いた消音器 2017年12月13日
特許 6242097 地下排水ポンプ設備 2017年12月 6日
特許 6243229 回転保持装置及び基板洗浄装置 2017年12月 6日
特許 6238932 ヨウ素化合物吸着剤及びその製造方法並びにヨウ素化合物吸着剤を用いる放射性廃液の処理方法及び装置 2017年11月29日
特許 6239239 配管システムおよびポンプ 2017年11月29日
特許 6239417 基板処理装置 2017年11月29日

178 件中 1-15 件を表示

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6254307 6254383 6255047 6255303 6250406 6250459 6250924 6251043 6251124 6247732 6242097 6243229 6238932 6239239 6239417

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