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株式会社荏原製作所

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　■　2017年特許取得件数ランキング　　　第183位　176件（2016年：第254位　129件）

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株式会社荏原製作所の商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 6254307	めっき装置に使用される基板ホルダの漏れ検査方法	2017年12月27日
特許 6254383	ドレッシング装置及びそれを備えた化学的機械的研磨装置、それに用いるドレッサーディスク	2017年12月27日
特許 6255047	異物付着防止機能を備えた電子線検査装置及び方法	2017年12月27日
特許 6255303	研磨テーブル交換装置および研磨テーブルの取り出し方法	2017年12月27日
特許 6250406	基板処理装置の異常検出装置、及び基板処理装置	2017年12月20日
特許 6250459	ドレッシング装置、及び半導体製造装置	2017年12月20日
特許 6250924	基板洗浄装置および研磨装置	2017年12月20日
特許 6251043	エッチング液、エッチング方法、およびはんだバンプの製造方法	2017年12月20日
特許 6251124	基板ホルダ用の基板着脱部及びこれを備えた湿式基板処理装置	2017年12月20日
特許 6247732	消音体及びこれを用いた消音器	2017年12月13日
特許 6242097	地下排水ポンプ設備	2017年12月 6日
特許 6243229	回転保持装置及び基板洗浄装置	2017年12月 6日
特許 6238932	ヨウ素化合物吸着剤及びその製造方法並びにヨウ素化合物吸着剤を用いる放射性廃液の処理方法及び装置	2017年11月29日
特許 6239239	配管システムおよびポンプ	2017年11月29日
特許 6239417	基板処理装置	2017年11月29日

178 件中 1-15 件を表示

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6254307 6254383 6255047 6255303 6250406 6250459 6250924 6251043 6251124 6247732 6242097 6243229 6238932 6239239 6239417

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