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株式会社荏原製作所

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　■　2021年特許取得件数ランキング　　　第114位　242件（2020年：第151位　191件）

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株式会社荏原製作所の商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 6984816	スイッチドリラクタンスモータおよび発電機などの回転電力機械のセンサレス駆動装置、並びに該センサレス駆動装置および回転電力機械を備えた回転システム	2021年12月22日
特許 6985107	研磨方法および研磨装置	2021年12月22日
特許 6985834	ポンプ装置	2021年12月22日
特許 6985865	給水装置、および給水装置の試験運転方法	2021年12月22日
特許 6986877	ポンプ装置	2021年12月22日
特許 6986921	めっき装置及びめっき方法	2021年12月22日
特許 6986930	基板研磨装置および研磨方法	2021年12月22日
特許 6987184	基板処理装置	2021年12月22日
特許 6982505	ポンプ装置	2021年12月17日
特許 6979900	基板保持部材、基板処理装置、基板処理装置の制御方法、プログラムを格納した記憶媒体	2021年12月15日
特許 6978918	洗浄薬液供給装置、洗浄ユニット、及びプログラムを格納した記憶媒体	2021年12月 8日
特許 6974065	基板処理装置および基板を基板処理装置のテーブルから離脱させる方法	2021年12月 1日
特許 6974067	基板を研磨する方法および装置	2021年12月 1日
特許 6974116	基板保持装置並びに基板保持装置を備えた基板処理装置および基板処理方法	2021年12月 1日
特許 6974117	研磨装置、および研磨具を押圧する押圧パッド	2021年12月 1日

242 件中 1-15 件を表示

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6984816 6985107 6985834 6985865 6986877 6986921 6986930 6987184 6982505 6979900 6978918 6974065 6974067 6974116 6974117

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