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株式会社荏原製作所

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  2021年 特許取得件数ランキング    第114位 242件 上昇2020年:第151位 191件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6984816 スイッチドリラクタンスモータおよび発電機などの回転電力機械のセンサレス駆動装置、並びに該センサレス駆動装置および回転電力機械を備えた回転システム 2021年12月22日
特許 6985107 研磨方法および研磨装置 2021年12月22日
特許 6985834 ポンプ装置 2021年12月22日
特許 6985865 給水装置、および給水装置の試験運転方法 2021年12月22日
特許 6986877 ポンプ装置 2021年12月22日
特許 6986921 めっき装置及びめっき方法 2021年12月22日
特許 6986930 基板研磨装置および研磨方法 2021年12月22日
特許 6987184 基板処理装置 2021年12月22日
特許 6982505 ポンプ装置 2021年12月17日
特許 6979900 基板保持部材、基板処理装置、基板処理装置の制御方法、プログラムを格納した記憶媒体 2021年12月15日
特許 6978918 洗浄薬液供給装置、洗浄ユニット、及びプログラムを格納した記憶媒体 2021年12月 8日
特許 6974065 基板処理装置および基板を基板処理装置のテーブルから離脱させる方法 2021年12月 1日
特許 6974067 基板を研磨する方法および装置 2021年12月 1日
特許 6974116 基板保持装置並びに基板保持装置を備えた基板処理装置および基板処理方法 2021年12月 1日
特許 6974117 研磨装置、および研磨具を押圧する押圧パッド 2021年12月 1日

242 件中 1-15 件を表示

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6984816 6985107 6985834 6985865 6986877 6986921 6986930 6987184 6982505 6979900 6978918 6974065 6974067 6974116 6974117

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