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SPPテクノロジーズ株式会社

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  2016年 出願公開件数ランキング    第2110位 10件 上昇2015年:第2117位 10件)

  2016年 特許取得件数ランキング    第2983位 5件 下降2015年:第1611位 11件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2016-189374 半導体素子の製造方法及びその製造に用いられるプラズマエッチング装置 2016年11月 4日
特開 2016-171323 配線基板の製造方法 2016年 9月23日
特開 2016-167564 配線基板の製造方法 2016年 9月15日
再表 2014-50903 プラズマエッチング装置 2016年 8月22日
特開 2016-149436 カセット設置用アダプタ、ウェハ搬送装置、及びウェハ搬送装置へのカセット設置方法 2016年 8月18日
特開 2016-134596 半導体製造装置用管理システム 2016年 7月25日
特開 2016-119484 プラズマエッチング方法 2016年 6月30日
特開 2016-103658 プラズマエッチング装置 2016年 6月 2日
特開 2016-96357 プラズマ基板処理装置、その制御プログラム、これを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 2016年 5月26日
特開 2016-86152 シリコン酸化膜及びその製造方法、並びにシリコン酸化膜の製造装置 2016年 5月19日
特開 2016-82010 シリコン窒化膜の製造方法及びシリコン窒化膜 2016年 5月16日

11 件中 1-11 件を表示

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2016-189374 2016-171323 2016-167564 2014-50903 2016-149436 2016-134596 2016-119484 2016-103658 2016-96357 2016-86152 2016-82010

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