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■ 2015年 出願公開件数ランキング 第2117位 10件 (2014年:第2283位 9件)
■ 2015年 特許取得件数ランキング 第1611位 11件 (2014年:第3032位 6件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2015-198083 | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 | 2015年11月 9日 | |
特開 2015-198084 | 高周波電力システム及びこれを備えたプラズマ処理装置 | 2015年11月 9日 | |
特開 2015-194219 | リンク装置 | 2015年11月 5日 | |
特開 2015-183788 | 歯車機構 | 2015年10月22日 | |
特開 2015-170437 | プラズマ処理装置の異常放電予知方法及び装置、並びに異常放電予知機能付きプラズマ処理装置 | 2015年 9月28日 | |
特開 2015-162630 | 炭化珪素半導体素子の製造方法 | 2015年 9月 7日 | |
特開 2015-109316 | 積層膜及びその製造方法 | 2015年 6月11日 | |
特開 2015-73081 | プラズマエッチング方法 | 2015年 4月16日 | |
再表 2013-35510 | プラズマエッチング方法 | 2015年 3月23日 | |
特開 2015-23160 | プラズマ処理装置 | 2015年 2月 2日 |
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2015-198083 2015-198084 2015-194219 2015-183788 2015-170437 2015-162630 2015-109316 2015-73081 2013-35510 2015-23160
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