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SPPテクノロジーズ株式会社

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  2015年 出願公開件数ランキング    第2117位 10件 上昇2014年:第2283位 9件)

  2015年 特許取得件数ランキング    第1611位 11件 上昇2014年:第3032位 6件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2015-198083 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2015年11月 9日
特開 2015-198084 高周波電力システム及びこれを備えたプラズマ処理装置 2015年11月 9日
特開 2015-194219 リンク装置 2015年11月 5日
特開 2015-183788 歯車機構 2015年10月22日
特開 2015-170437 プラズマ処理装置の異常放電予知方法及び装置、並びに異常放電予知機能付きプラズマ処理装置 2015年 9月28日
特開 2015-162630 炭化珪素半導体素子の製造方法 2015年 9月 7日
特開 2015-109316 積層膜及びその製造方法 2015年 6月11日
特開 2015-73081 プラズマエッチング方法 2015年 4月16日
再表 2013-35510 プラズマエッチング方法 2015年 3月23日
特開 2015-23160 プラズマ処理装置 2015年 2月 2日

10 件中 1-10 件を表示

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2015-198083 2015-198084 2015-194219 2015-183788 2015-170437 2015-162630 2015-109316 2015-73081 2013-35510 2015-23160

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