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■ 2021年 出願公開件数ランキング 第1420位 17件
(2020年:第3088位 6件)
■ 2021年 特許取得件数ランキング 第1475位 12件
(2020年:第1550位 11件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2021-174952 | 処理装置、開閉機構およびリンク機構 | 2021年11月 1日 | |
特開 2021-170420 | 携帯端末、方法及びプログラム | 2021年10月28日 | |
再表 2020-196276 | 保守支援システム、保守支援方法、プログラム及び加工画像の生成方法 | 2021年10月21日 | |
再表 2020-194413 | 保守支援システム、保守支援方法及びプログラム | 2021年10月14日 | |
特開 2021-157694 | 携帯端末、方法及びプログラム | 2021年10月 7日 | |
特開 2021-157781 | 保守作業支援システム、保守作業支援方法、および、保守作業支援プログラム | 2021年10月 7日 | |
特開 2021-152899 | 保守対象装置の履歴管理システム、保守対象装置の履歴管理方法 | 2021年 9月30日 | |
特開 2021-132116 | コンピュータプログラム、半導体製造装置、基板昇降装置及び半導体製造方法 | 2021年 9月 9日 | |
特開 2021-89958 | 誘導結合プラズマエッチング装置およびプラズマ生成機構 | 2021年 6月10日 | |
再表 2020-225920 | プラズマ着火方法及びプラズマ生成装置 | 2021年 5月20日 | |
再表 2020-194777 | 保守支援システム、保守支援方法、プログラム及び加工画像の生成方法 | 2021年 4月 8日 | |
再表 2020-194778 | 支援システム、支援方法及びプログラム | 2021年 4月 8日 | |
再表 2020-178945 | 基板処理装置のプロセス判定装置、基板処理システム及び基板処理装置のプロセス判定方法 | 2021年 3月18日 | |
特開 2021-36530 | プラズマ処理装置 | 2021年 3月 4日 | |
再表 2020-144823 | エッチング終点検出装置、基板処理システム、エッチング終点検出方法及び分類器 | 2021年 2月18日 |
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2021-174952 2021-170420 2020-196276 2020-194413 2021-157694 2021-157781 2021-152899 2021-132116 2021-89958 2020-225920 2020-194777 2020-194778 2020-178945 2021-36530 2020-144823
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