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■ 2019年 出願公開件数ランキング 第2176位 10件
(2018年:第2064位 10件)
■ 2019年 特許取得件数ランキング 第1271位 14件
(2018年:第2192位 7件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2019-175709 | 基板処理装置 | 2019年10月10日 | |
特開 2019-169699 | フォーカスリング及びこれを備えたプラズマ処理装置 | 2019年10月 3日 | |
特開 2019-143811 | 歯車機構 | 2019年 8月29日 | |
特開 2019-145513 | プラズマ制御装置 | 2019年 8月29日 | |
特開 2019-140211 | 基板載置台及びこれを備えたプラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 | 2019年 8月22日 | |
特開 2019-140314 | シリコン窒化膜の製造方法及び製造装置 | 2019年 8月22日 | |
再表 2018-173227 | 中性粒子ビーム処理装置 | 2019年 7月18日 | |
特開 2019-56481 | 締結構造、締結構造を備えたプラズマ処理装置、及び締結構造用ナット | 2019年 4月11日 | |
特開 2019-54282 | SiGe層のエッチング方法 | 2019年 4月 4日 | |
特開 2019-36614 | プラズマ処理装置 | 2019年 3月 7日 |
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2019-175709 2019-169699 2019-143811 2019-145513 2019-140211 2019-140314 2018-173227 2019-56481 2019-54282 2019-36614
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