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SPPテクノロジーズ株式会社

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  2019年 出願公開件数ランキング    第2176位 10件 下降2018年:第2064位 10件)

  2019年 特許取得件数ランキング    第1271位 14件 上昇2018年:第2192位 7件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2019-175709 基板処理装置 2019年10月10日
特開 2019-169699 フォーカスリング及びこれを備えたプラズマ処理装置 2019年10月 3日
特開 2019-143811 歯車機構 2019年 8月29日
特開 2019-145513 プラズマ制御装置 2019年 8月29日
特開 2019-140211 基板載置台及びこれを備えたプラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2019年 8月22日
特開 2019-140314 シリコン窒化膜の製造方法及び製造装置 2019年 8月22日
再表 2018-173227 中性粒子ビーム処理装置 2019年 7月18日
特開 2019-56481 締結構造、締結構造を備えたプラズマ処理装置、及び締結構造用ナット 2019年 4月11日
特開 2019-54282 SiGe層のエッチング方法 2019年 4月 4日
特開 2019-36614 プラズマ処理装置 2019年 3月 7日

10 件中 1-10 件を表示

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2019-175709 2019-169699 2019-143811 2019-145513 2019-140211 2019-140314 2018-173227 2019-56481 2019-54282 2019-36614

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