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■ 2013年 出願公開件数ランキング 第2668位 8件 (2012年:第4129位 4件)
■ 2013年 特許取得件数ランキング 第1767位 13件 (2012年:第3300位 5件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2013-239757 | エッチング方法 | 2013年11月28日 | |
再表 2012-8439 | 基板処理方法及び基板処理システム | 2013年 9月 9日 | |
再表 2012-8409 | エッチング方法 | 2013年 9月 9日 | |
特開 2013-161839 | 基板トレー、およびこれを備えたプラズマ処理装置 | 2013年 8月19日 | |
再表 2011-148985 | プラズマエッチング方法 | 2013年 7月25日 | |
特開 2013-69848 | プラズマエッチング方法 | 2013年 4月18日 | |
特開 2013-45933 | プラズマ基板処理装置、その制御プログラム、これを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 | 2013年 3月 4日 | |
特開 2013-38354 | 窒化膜の製造装置及びその製造方法、並びにその製造プログラム | 2013年 2月21日 |
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2013-239757 2012-8439 2012-8409 2013-161839 2011-148985 2013-69848 2013-45933 2013-38354
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11月22日(金) -
11月22日(金) - 東京 千代田区
11月22日(金) - 東京 港区
11月22日(金) -
11月22日(金) - 大阪 大阪市
11月22日(金) -
11月22日(金) -
11月25日(月) -
11月25日(月) - 岐阜 各務原市
11月26日(火) -
11月26日(火) - 東京 港区
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月27日(水) - 東京 港区
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月28日(木) - 東京 港区
11月28日(木) - 島根 松江市
11月28日(木) - 京都 京都市
11月28日(木) -
11月28日(木) - 大阪 大阪市
11月28日(木) -
11月29日(金) - 東京 港区
11月29日(金) - 茨城 ひたちなか市
11月30日(土) -
12月1日(日) -
12月1日(日) -
11月25日(月) -
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