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SPPテクノロジーズ株式会社

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  2013年 出願公開件数ランキング    第2668位 8件 上昇2012年:第4129位 4件)

  2013年 特許取得件数ランキング    第1767位 13件 上昇2012年:第3300位 5件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2013-239757 エッチング方法 2013年11月28日
再表 2012-8439 基板処理方法及び基板処理システム 2013年 9月 9日
再表 2012-8409 エッチング方法 2013年 9月 9日
特開 2013-161839 基板トレー、およびこれを備えたプラズマ処理装置 2013年 8月19日
再表 2011-148985 プラズマエッチング方法 2013年 7月25日
特開 2013-69848 プラズマエッチング方法 2013年 4月18日
特開 2013-45933 プラズマ基板処理装置、その制御プログラム、これを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 2013年 3月 4日
特開 2013-38354 窒化膜の製造装置及びその製造方法、並びにその製造プログラム 2013年 2月21日

8 件中 1-8 件を表示

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2013-239757 2012-8439 2012-8409 2013-161839 2011-148985 2013-69848 2013-45933 2013-38354

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