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■ 2014年 出願公開件数ランキング 第2283位 9件 (2013年:第2668位 8件)
■ 2014年 特許取得件数ランキング 第3032位 6件 (2013年:第1767位 13件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2014-236193 | 基板搬送装置、及びこれを用いた基板搬送方法 | 2014年12月15日 | |
特開 2014-197612 | 被処理基板のプラズマ処理用載置台及びこれを用いたプラズマ処理装置 | 2014年10月16日 | |
特開 2014-195027 | プラズマエッチング方法 | 2014年10月 9日 | |
特開 2014-142058 | 締結構造、該締結構造を用いた基板処理装置及び該締結構造に用いられるワッシャ付被締結部材 | 2014年 8月 7日 | |
特開 2014-138122 | プラズマエッチング方法及びプラズマエッチング装置 | 2014年 7月28日 | 共同出願 |
特開 2014-135447 | 排ガス処理装置、排ガス処理機能付きエッチング装置、及び排ガスの処理方法 | 2014年 7月24日 | 共同出願 |
特開 2014-99659 | プラズマエッチング方法 | 2014年 5月29日 | |
特開 2014-67841 | チャンバの加熱構造 | 2014年 4月17日 | |
特開 2014-17497 | 基板製造方法 | 2014年 1月30日 |
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2014-236193 2014-197612 2014-195027 2014-142058 2014-138122 2014-135447 2014-99659 2014-67841 2014-17497
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