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SPPテクノロジーズ株式会社

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  2017年 出願公開件数ランキング    第1503位 18件 上昇2016年:第2110位 10件)

  2017年 特許取得件数ランキング    第1304位 15件 上昇2016年:第2983位 5件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2017-201713 プラズマ処理装置 2017年11月 9日
特開 2017-197789 シリコン酸化膜の製造方法及びシリコン酸化膜 2017年11月 2日
特開 2017-195422 炭化珪素半導体素子の製造方法 2017年10月26日
特開 2017-183271 プラズマ処理装置 2017年10月 5日
特開 2017-183713 エッチング方法 2017年10月 5日
特開 2017-174939 炭化珪素半導体素子の製造方法 2017年 9月28日
特開 2017-143194 半導体素子の製造方法 2017年 8月17日
特開 2017-108182 エッチング保護膜形成用デポガス、プラズマエッチング方法、及びプラズマエッチング装置 2017年 6月15日
特開 2017-85083 半導体素子の製造方法及びその製造方法に用いられるプラズマエッチング装置 2017年 5月18日
再表 2015-151147 プラズマ処理装置 2017年 4月13日
再表 2015-151148 プラズマ処理装置 2017年 4月13日
再表 2015-151149 プラズマ処理装置及びこれに用いられる開閉機構 2017年 4月13日
再表 2015-151150 プラズマ処理装置及びこれに用いられるコイル 2017年 4月13日
再表 2015-151151 プラズマ処理装置 2017年 4月13日
再表 2015-151153 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2017年 4月13日

18 件中 1-15 件を表示

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2017-201713 2017-197789 2017-195422 2017-183271 2017-183713 2017-174939 2017-143194 2017-108182 2017-85083 2015-151147 2015-151148 2015-151149 2015-151150 2015-151151 2015-151153

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