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| 公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 5069331 | 電子ビーム露光システム | 2012年11月 7日 | |
| 特許 5053514 | 電子ビーム露光システム | 2012年10月17日 | |
| 特許 4981806 | リソグラフィシステム | 2012年 7月25日 | |
| 特許 4949843 | 荷電粒子ビームレット露光システム | 2012年 6月13日 | |
| 特許 4856073 | 荷電粒子ビーム露光システム | 2012年 1月18日 |
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5069331 5053514 4981806 4949843 4856073
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